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自我研发本领浮现那里?国产必赢注册CMP设备龙头华海清科再回覆科创板IPO问询

  《科创板日报》(上海,记者 吴凡)讯,克日,正闯关科创板的国产CMP设备供给商华海清科,回覆了二轮问询。 

  《科创板日报》记者留意到,上交所重点对华海清科的研发独立性、与清华大学之间形成的共有专利、公司的晶圆再生业务等举办了存眷。 

  将来与清华大学是否相助视详细环境而定 

  华海清科主要高管、焦点技能人员有清华任职配景,公司自创立以来与清华大学在CMP规模开展了深入的产学研相助,由此两边形成了多项共有专利。 

  数据显示,停止2020年12月31日,华海清科拥有已授权有效专利173项,个中99项由公司与清华大学配合申请,32项由公司独立申请。 

  据华海清科首轮复原,清华大学还将其独占的48项CMP 相关专利授权公司独有利用,同时也存在将两边共有专利授权给华海清科独有利用的景象。 

  不丢脸出,华海清科与清华大学相助密切,这也进一步引起了上交所的存眷。后者在二轮问询中向华海清科“犀利”发问:公司自我研发本领表此刻那里,进一步充实说明是否对清华大学组成研发和技能体系依赖,是否具备独立研发本领。 

  华海清科则别离从多个差异的角度对其“自我研发本领的浮现”举办叙述,包罗:拥有独立的研发团队、研发场合和研发设施;具有完整的研发和出产体系;陈诉期独立包袱了多项重大科研项目/课题;不绝推出多款CMP 贸易化机台等。 

  华海清科称,公司创立以来,与清华大学在CMP规模开展了相助研发,但在两边的相助研发项目中,两边研发任务分工、相关研发经费分派、研发成就权利归属明晰。  

  另据华海清科展示的数据,2017年至2020年12月31日,华海清科共开展了70项产物或技能工艺的研发项目,个中仅有4项是与清华大学相助研发,相助研发项目数量占比为 5.71%,项目预算金额占比为3.01%。 

  公司称,清华大学在现阶段公司技能研发中发挥的浸染有限,并依据公司管理制度间接对公司出产策划发生影响。 

  那么相助项目比例的淘汰,是否意味着华海清科将来将不再与清华大学举办相助? 

  华海清科在回覆中称,将来公司是否继承与清华大学开展其他相助研发项目将视公司自身技能成长需要而定,“若公司将来确有须要与清华大学开展其他相助研发项目,……两边在严格推行内部节制措施的基本上签署详细的相助研发协议,对相关研发成就、研发任务分工和研发经费分派举办明晰”。 

  而对付公司曾与清华大学形成的88项共有专利的原因,华海清科表明称,首先,公司焦点技能人员路新春、王同庆、赵德文为清华大学机器工程系教职工,三人作为发现人的专利均由华海清科申请,但凭据清华大学关于常识产权的划定,学校师生从事学校分派的事情所申请的专利为职务发现,应将学校列为专利申请人 。 

  其次,两边的相助研发,由公司作为主导方,主要认真项目标应用研究及财富化技能开拓,学校则为研发项目涉及的基本机理举办尝试室研究,提供理论支持;两边相助研发形成的有关成就需配合申请专利。 

  填补大陆晶圆再生空缺 

  除环绕着公司与清华大学的相助研发举办追问外,上交所还对华海清科的晶圆再生业务举办存眷。 

  晶圆再生是将集成电路制造厂商在制造芯片的进程中利用过的控挡片接纳,操作全套晶圆再生工艺将其薄膜、金属颗粒残留等杂质去除并清洗,使其到达可再次利用的尺度;旧片再生的本钱远低于新购硅片的本钱。因此,晶圆再生是集成电路制造厂商质料本钱打点的重要一环。 

  陈诉期内,华海清科来自CMP设备发生的收入最高到达92.39%,最低收入占比也到达73.69%。对此上交所要求公司披露晶圆再生业务的详细环境,与CMP设备业务之间的干系及市场前景。 

  华海清科回覆称,晶圆再生的工艺流程中,精抛是最要害的一道流程,主要通过CMP 设备完成,因此 CMP 工艺是晶圆再生工艺流程的焦点,同时 CMP 设备也是晶圆再生工艺产线中资金投入最大的工艺制程设备。 

  “另一方面,晶圆再生业务的客户主要是集成电路制造厂商,与公司现有CMP设备业务的客户群高度重合,晶圆再生业务与CMP设备业务之间具有很高的协同性”,华海清科暗示。 

  从晶圆再生业务的市场前景看,按照SEMI 对今朝海内现有的12 英寸晶圆厂的产能统计和预测来看,若今朝海内已建以及在建12寸晶圆厂全部达产,凭据再生晶圆数量占晶圆总产量30%和良品率 90%的行业特征来测算,海内12英寸再生晶圆的市场空间可以到达65万片/月。